NIST SRM640g 硅粉基質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)品是美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）研發(fā)的高純度硅粉基質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)（SRM），核心定位為硅材料（半導(dǎo)體、光伏級(jí)硅）中痕量雜質(zhì)元素分析的量值傳遞標(biāo)準(zhǔn)，專為輝光放電質(zhì)譜（GDMS）、電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）等痕量分析技術(shù)的儀器校準(zhǔn)、方法驗(yàn)證及結(jié)果溯源設(shè)計(jì)。

該標(biāo)準(zhǔn)品以干燥粉末形式供應(yīng)，每個(gè)包裝單元含 10g 硅粉（分裝為 2 個(gè) 5g 密封聚乙烯瓶），物理特性為：白色疏松粉末，標(biāo)稱粒徑范圍 1-5μm（D50=3μm），堆密度 1.2±0.1 g/cm3，屬于非易燃、非腐蝕性危險(xiǎn)品，需避免粉塵吸入。

SRM640g 硅粉基質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)品其基質(zhì)為電子級(jí)多晶硅，標(biāo)稱純度≥99.9999%（6N 級(jí)），在此基礎(chǔ)上精準(zhǔn)添加 18 種痕量雜質(zhì)元素，涵蓋半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵控制雜質(zhì)：

摻雜元素：B（硼）、P（磷）、As（砷）、Sb（銻）（濃度范圍 0.1-10 μg/kg）；

過(guò)渡金屬元素：Fe（鐵）、Cu（銅）、Ni（鎳）、Cr（鉻）、Mn（錳）（濃度范圍 1-50 μg/kg）；

堿 / 堿土金屬元素：Na（鈉）、K（鉀）、Ca（鈣）、Mg（鎂）（濃度范圍 5-100 μg/kg），所有元素標(biāo)稱質(zhì)量分?jǐn)?shù)均處于 ppb 級(jí)（10??），適配硅材料超低雜質(zhì)檢測(cè)需求。

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